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 2.2.2偏压溅射biassputtering：在溅射过程中，将偏压施加于基片以及膜层的溅射。

   2.2.3直流二级溅射directcurrenodesputtering：通过二个电极间的直流电压，使气体自持放电并把靶作为阴极的溅射。

   2.2.4非对称流溅射asymmtricalternatecurrentsputtering：通过二个电极间的非对称流电压，使气体自持放电并把靶作为吸收较大正离子流的电极。

   2.2.5高频二极溅射highfrequencydiodesputtering：通过二个电极间的高频电压获得高频放电而使靶极获得负电位的溅射。

   2.2.6热阴极直流溅射三极型溅射hotcathodedirectcurrentsputtering：借助于热阴极和阳极获得非自持气体放电，气体放电所产生的离子，由在阳极和阴极靶之间所施加的电压加速而轰击靶的溅射。

真空镀膜厂家真空室形带来的影响

为尽量减小真空镀膜机真空室形变带来的影响，我们将导轨、丝杆等传动件固定于一个刚性的中间层上，其与真空室底壁之间采用点、

线、面活性支撑，以吸收和隔离形变，并设置形变补偿调节机构，在系统抽真，参照有限元计算提供的理论数据预设适当的补偿量，以使其在真空状态下达到平衡。

为了验证有限元计算的结果，对真空室的形变和补偿进行了测试。一步，将四只千分表定位在工作台安装基点的真空壁外侧，

当真空室由-抽到真空时，记录各千分表的变化量，经一体化处理后为用激光自准直仪调整i形变补偿。

真空镀膜加工镀塑料件时抽真空时间过长是什么原因？

真空蒸发镀膜机是在真空室中利用电阻加热法，将紧贴在电阻丝上的金属丝熔融汽化，汽化了的金属分子沉积于基片上，而获得光滑反射率的膜层，车灯镀膜机达到装饰美化物品表面的目的。获得-物美的塑料件表面装饰的理想设备，任意底色的塑料经真空镀膜后皆可镀成金属薄膜、七彩膜、仿金膜等，具有提高产品-、外观更显华贵作用。广泛应用于塑料abs、aps、pu、ps、pp、pc和pvc、尼龙、陶瓷、树脂、玻璃等材料的玩具、饰物、工艺品、手机壳、电子产品、灯饰配件、化妆包装等行业。